总装调对心干涉仪的设计与测量精度分析

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

总装调对心干涉仪的设计与测量精度分析

更新时间：2025-09-01

- 总装调对心干涉仪的设计与测量精度分析
- Design and accuracy analysis of the alignment interferometer
- 光学技术 2001年第4期页码：328-330
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
移动端阅览
叶露, 韩昌元. 总装调对心干涉仪的设计与测量精度分析[J]. 光学技术, 2001,(4):328-330.

Design and accuracy analysis of the alignment interferometer[J]. 2001, (4): 328-330.
叶露, 韩昌元. 总装调对心干涉仪的设计与测量精度分析[J]. 光学技术, 2001,(4):328-330. DOI：

Design and accuracy analysis of the alignment interferometer[J]. 2001, (4): 328-330. DOI：

为了满足大口径光学系统各分立元件的高精度对心要求

设计制造了总装调对心干涉仪。介绍了仪器的工作原理及关键结构工艺

并对影响偏心测量的因素进行了讨论。仪器的测量精度同被测镜的曲率半径及两测量点的间距有关。当被测镜的曲率半径小于 1.5 m、两测量点的间距为 5 0 0 mm时

其偏心测量精度小于 1μm

仪器的测量偏心角度的最小格值达 0 .12

浏览量

308

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

高精度共焦自准直中心偏测量装置

基于卡尔曼滤波的分布式光纤Raman测温系统

透射波前测量中寄生条纹的产生原理及移除方法

衍射式光栅干涉测量系统发展现状及趋势

液面微幅波动的激光干涉测量