软X射线透射光栅制作技术

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软X射线透射光栅制作技术

更新时间：2025-09-01

- 软X射线透射光栅制作技术
- The fabrication techniques for soft X-ray transmission gratings
- 光学技术 2001年第4期页码：294-296
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029
  2. 2:中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029
  3. 3:中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029
  4. 4:中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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徐向东, 洪义麟, 霍同林, 等. 软X射线透射光栅制作技术[J]. 光学技术, 2001,(4):294-296.

The fabrication techniques for soft X-ray transmission gratings[J]. 2001, (4): 294-296.
徐向东, 洪义麟, 霍同林, 等. 软X射线透射光栅制作技术[J]. 光学技术, 2001,(4):294-296. DOI：

The fabrication techniques for soft X-ray transmission gratings[J]. 2001, (4): 294-296. DOI：

金透射光栅广泛用于真空紫外、X射线、物质波的衍射和光谱测量。分别介绍了美国麻省理工学院空间微结构实验室和中国科学技术大学国家同步辐射实验室的透射光栅制作技术及其新进展。麻省理工学院空间微结构实验室为完成 AXAF巨型空间天文台上的高能透射光栅谱仪经历了近 2 0年的发展

其光栅制作工艺日趋成熟

代表了当前世界最高水平。中国科学技术大学国家同步辐射实验室为了满足惯性约束核聚变实验研究的需要

在国内较早地开展了透射光栅的研制工作

在提高光栅质量的同时不断提高线密度

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