CGQ-II车间数字干涉仪的几种特殊检测的应用

曹天宁; 白剑; 孔燕波

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CGQ-II车间数字干涉仪的几种特殊检测的应用

更新时间：2025-09-01

- CGQ-II车间数字干涉仪的几种特殊检测的应用
- Application of CQG-Ⅱ shop digital interferometer in several special testing cases
- 光学技术 2001年第6期页码：562-563
- 作者机构：
  
  1. 1:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
  2. 2:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
  3. 3:宁波华光精密仪器有限公司,浙江,杭州,310027
  4. 4,浙江,杭州,310027
- 作者简介：
- 基金信息：
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  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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曹天宁, 白剑, 孔燕波. CGQ-II车间数字干涉仪的几种特殊检测的应用[J]. 光学技术, 2001,(6):562-563.

Application of CQG-Ⅱ shop digital interferometer in several special testing cases[J]. 2001, (6): 562-563.
曹天宁, 白剑, 孔燕波. CGQ-II车间数字干涉仪的几种特殊检测的应用[J]. 光学技术, 2001,(6):562-563. DOI：

Application of CQG-Ⅱ shop digital interferometer in several special testing cases[J]. 2001, (6): 562-563. DOI：

摘要

最近研制与改进的几台CQG II型车间数字干涉仪除应用于平面及球面的面形测量、获得面形误差PV、RMS或N、ΔN外

还可以广泛地应用于下列几种特殊的应用 :( 1)微型光学件的检测 :借助 φ60mm～φ15mm放大系统可以测量 φ1mm平面 ;( 2 )光学平行平面的透过波面畸变检测 ;( 3)棱镜角度及面形检测 ;( 4)非球面检测 :低陡度非球面、二次曲面及非球面准直系统 ;( 5 )衍射光检测 ;( 6)镜头的调制传递函数 (MTF)的检测 ;( 7)金属表面 (模具 )或镀反射膜光学件的检测。仪器的口径为 60mm

平面精度为λ/2 0

球面精度为λ/10

λ =632 8nm

对以上的应用均列举了生产实际应用或科研应用的实例。

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