多功能椭偏测厚仪

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多功能椭偏测厚仪

更新时间：2025-09-01

- 多功能椭偏测厚仪
- The multifunctional ellipsometer
- 光学技术 2001年第5期页码：432-434
- 作者机构：
  
  1. 1:华南师范大学物理系,广州,510631
  2. 2:华南师范大学物理系,广州,510631
  3. 3:华南师范大学物理系,广州,510631
  4. 4:华南师范大学物理系,广州,510631
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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黄佐华, 何振江, 杨冠玲, 等. 多功能椭偏测厚仪[J]. 光学技术, 2001,(5):432-434.

The multifunctional ellipsometer[J]. 2001, (5): 432-434.
黄佐华, 何振江, 杨冠玲, 等. 多功能椭偏测厚仪[J]. 光学技术, 2001,(5):432-434. DOI：

The multifunctional ellipsometer[J]. 2001, (5): 432-434. DOI：

研究成功一台变入射角反射式消光法多功能智能椭偏测厚仪。实验表明 :仪器的测厚准确度为± 0 1nm ;椭偏参数Ψ和Δ的测量重复性精度分别为± 0 1°和± 0 3°

适用于纳米级薄膜厚度和折射率的测量

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