石英薄板的数控加工技术

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石英薄板的数控加工技术

更新时间：2025-09-01

- 石英薄板的数控加工技术
- Computer controlled optical finishing laminate fused silica
- 光学技术 2001年第6期页码：560-561
- 作者机构：
  
  1. 1:成都精密光学工程研究中心
  2. 2:成都精密光学工程研究中心
  3. 3:成都精密光学工程研究中心,四川,成都,610041
  4. 4,四川,成都,610041
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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王健, 许乔, 石琦凯. 石英薄板的数控加工技术[J]. 光学技术, 2001,(6):560-561.

Computer controlled optical finishing laminate fused silica[J]. 2001, (6): 560-561.
王健, 许乔, 石琦凯. 石英薄板的数控加工技术[J]. 光学技术, 2001,(6):560-561. DOI：

Computer controlled optical finishing laminate fused silica[J]. 2001, (6): 560-561. DOI：

在高功率固体激光装置要求的所有平面透射光学元件中

熔石英材料的屏蔽片是光学冷加工难度最高的元件之一

加工要求为单次透射波前畸变为λ/ 6(λ =632 8nm )。其外形尺寸径厚比大于 30 :1

远远超出普通光学元件径厚比小于 10 :1的要求。由于径厚比大

所以光学元件在加工和测量的过程中很容易受到重力、装夹力等的影响而变形

影响加工和检测的精度。介绍了采用新兴的数控加工技术有效的避免了加工过程中各种装夹力、重力对面型的影响 ;通过优化参数

加工效率也得到了有效的提高。

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