微型光学元件的透过波面畸变的数字化检测

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微型光学元件的透过波面畸变的数字化检测

更新时间：2025-09-01

- 微型光学元件的透过波面畸变的数字化检测
- Digital testing of transmitted wavefront distortion for micro-optics
- 光学技术 2001年第6期页码：539-540
- 作者机构：
  
  1. 1:中日合资上海光和玻璃制品有限公司
  2. 2:中日合资上海光和玻璃制品有限公司
  3. 3:中日合资上海光和玻璃制品有限公司
  4. 4:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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刘重庆, 高文彪, 吴庆文, 等. 微型光学元件的透过波面畸变的数字化检测[J]. 光学技术, 2001,(6):539-540.

Digital testing of transmitted wavefront distortion for micro-optics[J]. 2001, (6): 539-540.
刘重庆, 高文彪, 吴庆文, 等. 微型光学元件的透过波面畸变的数字化检测[J]. 光学技术, 2001,(6):539-540. DOI：

Digital testing of transmitted wavefront distortion for micro-optics[J]. 2001, (6): 539-540. DOI：

介绍了由浙江大学研制的CQG II型车间数字干涉仪检测 φ3 6mm× 0 5mm平行平面玻璃的透过波面畸变的情况。最近研制出的干涉仪测量的最大口径为 φ60mm

采用移相式条纹扫描数字化处理

基于WINDOWS操作系统实现实时检测

以优于λ/ 30的精度计算出被检件的波面误差。工厂生产检测表明 :在上述仪器上增加一个 4倍口径的放大系统

可以使通光口径 φ3 1mm的工件达到 42 0 0个采样点

仪器的透射测量标准干涉腔误差PV≤ 0 0 2 8λ

仪器隔日多次测量重复性PV≤ 0 0 3λ。该仪器已经正常投入使用

生产的用于光学信息产品的微型光学件已为日本先锋公司 (PIONEER)复检通过

成为工厂批量生产过程质量控制 (QC)的重要手段。

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