超光滑硅柱面反射镜的加工和检测

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超光滑硅柱面反射镜的加工和检测

更新时间：2025-09-01

- 超光滑硅柱面反射镜的加工和检测
- Fabrication and testing of the super-smooth silicon cylindrical mirror
- 光学技术 2001年第6期页码：497-498
- 作者机构：
  
  1. 1:苏州大学现代光学技术省重点实验室
  2. 2:苏州大学现代光学技术省重点实验室
  3. 3:苏州大学现代光学技术省重点实验室
  4. 4:苏州大学现代光学技术省重点实验室,江苏,苏州,215006
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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孙侠菲, 余景池, 丁泽钊, 等. 超光滑硅柱面反射镜的加工和检测[J]. 光学技术, 2001,(6):497-498.

Fabrication and testing of the super-smooth silicon cylindrical mirror[J]. 2001, (6): 497-498.
孙侠菲, 余景池, 丁泽钊, 等. 超光滑硅柱面反射镜的加工和检测[J]. 光学技术, 2001,(6):497-498. DOI：

Fabrication and testing of the super-smooth silicon cylindrical mirror[J]. 2001, (6): 497-498. DOI：

介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法。给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果。

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