极紫外多层膜制备工艺研究

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极紫外多层膜制备工艺研究

更新时间：2025-09-01

- 极紫外多层膜制备工艺研究
- Researches on extreme ultraviolet multilayers fabrication
- 光学技术 2001年第6期页码：532-534
- 作者机构：
  
  1. 1:同济大学物理系
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,上海,200092
  3. 3,吉林,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
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王占山, 马月英. 极紫外多层膜制备工艺研究[J]. 光学技术, 2001,(6):532-534.

Researches on extreme ultraviolet multilayers fabrication[J]. 2001, (6): 532-534.
王占山, 马月英. 极紫外多层膜制备工艺研究[J]. 光学技术, 2001,(6):532-534. DOI：

Researches on extreme ultraviolet multilayers fabrication[J]. 2001, (6): 532-534. DOI：

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