大口径精密投影光刻制版镜头的光学装校

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

大口径精密投影光刻制版镜头的光学装校

更新时间：2025-09-01

- 大口径精密投影光刻制版镜头的光学装校
- Optical assembly and rectification of big aperture′s precision photolithographic plate-making lenses
- 光学技术 2001年第6期页码：493-494
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院光电技术研究所
  2. 2:中国科学院光电技术研究所
  3. 3:中国科学院光电技术研究所
  4. 4:中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2001
- 稿件说明：
移动端阅览
魏全忠, 蒋世磊, 马天梦, 等. 大口径精密投影光刻制版镜头的光学装校[J]. 光学技术, 2001,(6):493-494.

Optical assembly and rectification of big aperture′s precision photolithographic plate-making lenses[J]. 2001, (6): 493-494.
魏全忠, 蒋世磊, 马天梦, 等. 大口径精密投影光刻制版镜头的光学装校[J]. 光学技术, 2001,(6):493-494. DOI：

Optical assembly and rectification of big aperture′s precision photolithographic plate-making lenses[J]. 2001, (6): 493-494. DOI：

对于大口径精密投影光刻制版镜头来说

透镜的应力变形和中心误差对整个系统的成像质量有较大影响。详细介绍了一种减小应力变形的特殊结构和在一种光学装校过程中多镜组整体对接的方法

给出了对接前后的偏心测量数据以及镜头实际曝光的图形。

浏览量

353

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

暂无数据