一种简易的薄膜光学特性测量装置

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一种简易的薄膜光学特性测量装置

更新时间：2025-09-01

- 一种简易的薄膜光学特性测量装置
- A simply constructed installation for determination of optical properties of thin films
- 光学技术 2002年第1期页码：49-51
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学光电工程系
  2. 2:北京理工大学光电工程系
  3. 3:北京理工大学光电工程系,北京,100081
  4. 4,北京,100081
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2002
- 稿件说明：
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江月松, 李翠玲, 卢维强. 一种简易的薄膜光学特性测量装置[J]. 光学技术, 2002,(1):49-51.

A simply constructed installation for determination of optical properties of thin films[J]. 2002, (1): 49-51.
江月松, 李翠玲, 卢维强. 一种简易的薄膜光学特性测量装置[J]. 光学技术, 2002,(1):49-51. DOI：

A simply constructed installation for determination of optical properties of thin films[J]. 2002, (1): 49-51. DOI：

基于表面等离子波测量薄膜光学特性的原理

应用激光表面等离子波共振方法

建立了一种简易的测量薄膜光学特性的装置

并对实际的SiO2 薄膜进行了测量

实验和理论计算表明

薄膜厚度测量准确度可达纳米量级。还对测量系统作了简单的误差分析

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