硅微机械F-腔可变衰减器光学特性分析

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硅微机械F-腔可变衰减器光学特性分析

更新时间：2025-09-01

- 硅微机械F-腔可变衰减器光学特性分析
- Analysis for the variable attenuator optical property of silicon micromachine F-P cavity
- 光学技术 2002年第3期页码：210-212
- 作者机构：
  
  1. 1:北京理工大学光电工程系
  2. 2:北京理工大学光电工程系
  3. 3:北京理工大学光电工程系
  4. 4:北京理工大学光电工程系,北京,100081
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目 (60 1 770 0 9);教育部博士点研基金资助项目 (2 0 0 1 0 0 0 70 1 0 )
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2002
- 稿件说明：
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欧毅, 孙雨南, 崔芳, 等. 硅微机械F-腔可变衰减器光学特性分析[J]. 光学技术, 2002,(3):210-212.

Analysis for the variable attenuator optical property of silicon micromachine F-P cavity[J]. 2002, (3): 210-212.
欧毅, 孙雨南, 崔芳, 等. 硅微机械F-腔可变衰减器光学特性分析[J]. 光学技术, 2002,(3):210-212. DOI：

Analysis for the variable attenuator optical property of silicon micromachine F-P cavity[J]. 2002, (3): 210-212. DOI：

一种新型的硅微机械F P腔可变衰减器

具有体积小、插入损耗低、调节精度高等优点

介绍了其基本结构、基本原理。分析了F P腔两个反射镜的光学特性对F P腔性能的影响

包括两反射镜反射率对插入损耗、最大衰减量、工作范围的影响

以及F P腔腔长与衰减量之间的关系

分析了这种衰减器的带宽响应。衰减器体积只有 2 0 0× 2 0 0× 30 0 μm左右

插入损耗小于 2dB

最大衰减量为 44dB左右。

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