利用图像处理实现平面工作台三自由度位移的同步检测

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更新时间：2025-09-01

- 利用图像处理实现平面工作台三自由度位移的同步检测
- Synchronous detection of X-Y-Θ displacements by image proce ssing
- 光学技术 2002年第4期页码：326-328
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
  3. 3,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2002
- 稿件说明：
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吴鹰飞, 周兆英. 利用图像处理实现平面工作台三自由度位移的同步检测[J]. 光学技术, 2002,(4):326-328.

Synchronous detection of X-Y-Θ displacements by image proce ssing[J]. 2002, (4): 326-328.
吴鹰飞, 周兆英. 利用图像处理实现平面工作台三自由度位移的同步检测[J]. 光学技术, 2002,(4):326-328. DOI：

Synchronous detection of X-Y-Θ displacements by image proce ssing[J]. 2002, (4): 326-328. DOI：

为了实现平面工作台三自由度位移的同步检测

研制了图像处理位移检测系统。以CCD相机为核心

结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统。图像处理软件用VC编制

计算并绘制了工作台三自由度位移随时间的变化关系

以及工作台在平面内的运动轨迹。系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响。检测系统达到了亚像素级的位移分辨率。选择合适的显微镜放大倍率

可使检测系统既有较高的位移分辨率

又有一定的位移检测范围

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