纳米级两维微位移工作台的参数测试

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纳米级两维微位移工作台的参数测试

更新时间：2025-09-01

- 纳米级两维微位移工作台的参数测试
- Mechanical parameters' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner
- 光学技术 2002年第5期页码：447-448
- 作者机构：
  
  1. 1:中国航空长城计量测试技术研究所
  2. 2:中国航空长城计量测试技术研究所
  3. 3:中国航空长城计量测试技术研究所,北京,100095
  4. 4,北京,100095
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2002
- 稿件说明：
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崔岩梅, 周自力, 曹航. 纳米级两维微位移工作台的参数测试[J]. 光学技术, 2002,(5):447-448.

Mechanical parameters' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner[J]. 2002, (5): 447-448.
崔岩梅, 周自力, 曹航. 纳米级两维微位移工作台的参数测试[J]. 光学技术, 2002,(5):447-448. DOI：

Mechanical parameters' measurement and evaluation of XY piezoflexure nanopositioner[J]. 2002, (5): 447-448. DOI：

为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差

介绍了其机械结构及工作原理

进行了定位准确度实验和运动方向的直线度 (偏摆 )实验

实验结果表明

工作台的定位准确度较高

运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正

即可满足高精度测量的需要

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