干涉显微镜中相移误差分析

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干涉显微镜中相移误差分析

更新时间：2025-09-01

- 干涉显微镜中相移误差分析
- Analysis of phase-stepping error in differential interference microscopy
- 光学技术 2002年第6期页码：539-540
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系
  4. 4:中国科学院西安光学精密机械研究所,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目 ( 599750 52 )
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2002
- 稿件说明：
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徐毓娴, 董小满, 蔡昕, 等. 干涉显微镜中相移误差分析[J]. 光学技术, 2002,(6):539-540.

Analysis of phase-stepping error in differential interference microscopy[J]. 2002, (6): 539-540.
徐毓娴, 董小满, 蔡昕, 等. 干涉显微镜中相移误差分析[J]. 光学技术, 2002,(6):539-540. DOI：

Analysis of phase-stepping error in differential interference microscopy[J]. 2002, (6): 539-540. DOI：

相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一。介绍了四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法的原理和计算公式

并对其特点进行了分析比较。利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统

分别用四种算法对Ra=0 35μm和Ra=0 .0 9μm粗糙度样块进行了实测。结果表明

五帧算法的重复测量精度优于0 5nm

五帧免疫算法的重复测量精度优于 0 3nm。同时对在普通干涉显微镜上进一步提高其测量精度做了初步探讨

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