离轴非球面轮廓测量导轨直线度误差补偿模型

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更新时间：2025-09-01

- 离轴非球面轮廓测量导轨直线度误差补偿模型
- Linear error compensation model of profile's guide for off-axis aspherics
- 光学技术 2003年第2期页码：211-215
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
  2. 2:长春理工大学
  3. 3:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
  4. 4:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(60108003);国家杰出青年基金资助项目(69925512)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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程灏波, 王英伟, 郑立功, 等. 离轴非球面轮廓测量导轨直线度误差补偿模型[J]. 光学技术, 2003,(2):211-215.

Linear error compensation model of profile's guide for off-axis aspherics[J]. 2003, (2): 211-215.
程灏波, 王英伟, 郑立功, 等. 离轴非球面轮廓测量导轨直线度误差补偿模型[J]. 光学技术, 2003,(2):211-215. DOI：

Linear error compensation model of profile's guide for off-axis aspherics[J]. 2003, (2): 211-215. DOI：

由于研磨阶段非球面的面形误差将由几十微米收敛到几个微米

因此采用高重复精度的离散测量技术是决定误差收敛效率、影响加工进程的关键。在新一代数控光学加工中心(FSGJ Ⅱ)上

设计了双测头对非球面进行面形定量检测的轮廓测量机构。通过对测头运动导轨在x、z方向的直线精度的分析

建立了导轨直线度误差补偿模型

以较低的成本实现了较高的测量精度。

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