扫描离子束云纹法

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扫描离子束云纹法

更新时间：2025-09-01

- 扫描离子束云纹法
- Scanning ion beam moiré method
- 光学技术 2003年第1期页码：23-26
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学工程力学系
  2. 2:清华大学结构与振动开放实验室
  3. 3:清华大学工程力学系
  4. 4:清华大学工程力学系,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(19472038);清华大学振动与结构工程开放实验室基金
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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谢惠民, 李标, 尚海霞, 等. 扫描离子束云纹法[J]. 光学技术, 2003,(1):23-26.

Scanning ion beam moiré method[J]. 2003, (1): 23-26.
谢惠民, 李标, 尚海霞, 等. 扫描离子束云纹法[J]. 光学技术, 2003,(1):23-26. DOI：

Scanning ion beam moiré method[J]. 2003, (1): 23-26. DOI：

提出了一种在微米尺度下测量物体面内位移的新型扫描离子束云纹法。对该方法的测量原理以及变形测量的精度进行了阐述。以平行云纹和转角云纹为典型实验对该方法的测量精度进行了检验。该方法成功地应用于微电子系统结构在去除SiO2牺牲层后的残余变形测量。实验结果证实了该方法的可行性。

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