高精度(Δ90°≤0.5″)长方体的制造技术

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更新时间：2025-09-01

- 高精度(Δ90°≤0.5″)长方体的制造技术
- A processing technology of high precision rectangular parallelepiped
- 光学技术 2003年第1期页码：110-112
- 作者机构：
  
  1:南京理工大学华苑光电公司,南京,210094
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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刘树民. 高精度(Δ90°≤0.5″)长方体的制造技术[J]. 光学技术, 2003,(1):110-112.

A processing technology of high precision rectangular parallelepiped[J]. 2003, (1): 110-112.
刘树民. 高精度(Δ90°≤0.5″)长方体的制造技术[J]. 光学技术, 2003,(1):110-112. DOI：

A processing technology of high precision rectangular parallelepiped[J]. 2003, (1): 110-112. DOI：

高精度(Δ90°≤0.5″)长方体的制造技术主要包括了加工方法和检测方法两个方面

即长方体的前期加工阶段采用立方体(方砖)形式加工

以保证一个直角的精度;后期是采用分离器单块精抛的加工方式

以保证其平行差。加工过程中用Φ150激光平面干涉仪检测和控制面形及平行度

用LY Φ80棱镜干涉仪检测和控制直角精度。这种制造技术可以将长方体的直角精度做到Δ90°≤0 5″。

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