纳弧度分辨力角位移传感器及平均灵敏度标定

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更新时间：2025-09-01

- 纳弧度分辨力角位移传感器及平均灵敏度标定
- Angular displacement sensor with nano-radian resolution and calibration techniques of mean sensitivity
- 光学技术 2003年第2期页码：161-163
- 作者机构：
  
  1. 1:上海理工大学光学与电子信息工程学院
  2. 2:上海理工大学光学与电子信息工程学院
  3. 3:日本东北大学大学院工学研究科
  4. 4:日本东北大学大学院工学研究科,上海,200093
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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马军山, 杨永才, 张世宙, 等. 纳弧度分辨力角位移传感器及平均灵敏度标定[J]. 光学技术, 2003,(2):161-163.

Angular displacement sensor with nano-radian resolution and calibration techniques of mean sensitivity[J]. 2003, (2): 161-163.
马军山, 杨永才, 张世宙, 等. 纳弧度分辨力角位移传感器及平均灵敏度标定[J]. 光学技术, 2003,(2):161-163. DOI：

Angular displacement sensor with nano-radian resolution and calibration techniques of mean sensitivity[J]. 2003, (2): 161-163. DOI：

给出了基于六次临界反射棱镜的精密角位移传感器

采用的是差动式结构。实验结果表明

传感器灵敏度高

量程为500μrad

具有5nrad的分辨力。提出了适合于小量程角位移传感器的平均灵敏度的标定方法

可以快速标定平均灵敏度

降低标定过程中标定系统及传感器自身漂移对标定精度的影响。

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