软X射线多层膜反射式偏振光学元件设计

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软X射线多层膜反射式偏振光学元件设计

更新时间：2025-09-01

- 软X射线多层膜反射式偏振光学元件设计
- Design of reflection multilayered polarizers and analyzers in the soft X-ray range
- 光学技术 2003年第3期页码：277-280
- 作者机构：
  
  1. 1:同济大学物理系精密光学工程技术研究所
  2. 2:同济大学物理系精密光学工程技术研究所
  3. 3:同济大学物理系精密光学工程技术研究所
  4. 4:同济大学物理系精密光学工程技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目,批准号(60178021);上海市科技攻关项目(批准号:022261049)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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王洪昌, 王占山, 李佛生, 等. 软X射线多层膜反射式偏振光学元件设计[J]. 光学技术, 2003,(3):277-280.

Design of reflection multilayered polarizers and analyzers in the soft X-ray range[J]. 2003, (3): 277-280.
王洪昌, 王占山, 李佛生, 等. 软X射线多层膜反射式偏振光学元件设计[J]. 光学技术, 2003,(3):277-280. DOI：

Design of reflection multilayered polarizers and analyzers in the soft X-ray range[J]. 2003, (3): 277-280. DOI：

叙述了软X射线波段反射式多层膜起偏器和检偏器的设计原则和设计方法

计算了不同波段软X射线反射式多层膜起偏器和检偏器的性能

讨论了多层膜制作过程中

表界面误差(表面粗糙度和扩散)对起偏器和检偏器性能的影响

探讨了光谱分辨率对偏振元件测试过程的影响

这些设计、计算和分析为制作实用软X射线多层膜偏振光学元件提供了理论基础。

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