高精密运动工作台控制系统的设计与研究

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高精密运动工作台控制系统的设计与研究

更新时间：2025-09-01

- 高精密运动工作台控制系统的设计与研究
- Design and research on control system for high precision table
- 光学技术 2003年第6期页码：723-726
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
  4. 4:清华大学精密仪器与机械学系光盘国家工程研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  973国家重点基础研究规划项目资助(G19990330)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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蒋培军, 齐国生, 徐端颐, 等. 高精密运动工作台控制系统的设计与研究[J]. 光学技术, 2003,(6):723-726.

Design and research on control system for high precision table[J]. 2003, (6): 723-726.
蒋培军, 齐国生, 徐端颐, 等. 高精密运动工作台控制系统的设计与研究[J]. 光学技术, 2003,(6):723-726. DOI：

Design and research on control system for high precision table[J]. 2003, (6): 723-726. DOI：

设计并研制了用于母盘刻录机的高精密运动工作台及其控制系统。工作台控制系统采用线光栅作为工作台位移检测工具。采用数字位置环和模拟电流环组成双闭环随动系统

其中位置控制器是带有速度前馈和加速度前馈的数字PID伺服滤波器。实验结果表明

该系统可以满足母盘刻录机的要求。

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