超分辨近场结构技术及其应用

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超分辨近场结构技术及其应用

更新时间：2025-09-01

- 超分辨近场结构技术及其应用
- Super-resolution near field structure technology and its applicat ions
- 光学技术 2003年第5期页码：518-522
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院上海光学精密机械研究所
  2. 2:中国科学院上海光学精密机械研究所
  3. 3:中国科学院上海光学精密机械研究所
  4. 4:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863计划(2002AA313030);国家自然科学基金(60207005)资助项目。
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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张锋, 王阳, 徐文东, 等. 超分辨近场结构技术及其应用[J]. 光学技术, 2003,(5):518-522.

Super-resolution near field structure technology and its applicat ions[J]. 2003, (5): 518-522.
张锋, 王阳, 徐文东, 等. 超分辨近场结构技术及其应用[J]. 光学技术, 2003,(5):518-522. DOI：

Super-resolution near field structure technology and its applicat ions[J]. 2003, (5): 518-522. DOI：

超分辨近场结构(Super RENS)技术是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技术。介绍了Super RENS技术的基本原理:利用掩膜层的非线性效应或表面等离子体增强效应

在近场区域可以记录、读出超过衍射极限的信号。综述了该技术在纳米光信息存储和光刻方面应用研究的最新进展

提出了存在的问题

展望了它的发展前景。

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