微小孔径激光器的研制与近场测试

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微小孔径激光器的研制与近场测试

更新时间：2025-09-01

- 微小孔径激光器的研制与近场测试
- Fabrication and near-field measurement of very small aperture lasers
- 光学技术 2003年第6期页码：682-684
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
  2. 2:中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
  3. 3:中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
  4. 4:中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863计划资助项目(2002AA313060)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2003
- 稿件说明：
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康香宁, 宋国峰, 孙永伟, 等. 微小孔径激光器的研制与近场测试[J]. 光学技术, 2003,(6):682-684.

Fabrication and near-field measurement of very small aperture lasers[J]. 2003, (6): 682-684.
康香宁, 宋国峰, 孙永伟, 等. 微小孔径激光器的研制与近场测试[J]. 光学技术, 2003,(6):682-684. DOI：

Fabrication and near-field measurement of very small aperture lasers[J]. 2003, (6): 682-684. DOI：

介绍了一种用于高密度近场存储领域的新型微小孔径激光器(VSAL)。为了解决由腔面金属膜造成的激光器PN结短路的问题

在激光器中引入了窗口隔离区

不仅降低了器件制备的难度

而且也提高了器件的性能和成品率。采用聚焦离子束刻蚀技术成功地制备了输出功率为0 3mW的激光器

利用矩阵方法通过远场测量值估算了激光器的近场分布。

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