大口径平面光学元件超精密加工技术的研究

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大口径平面光学元件超精密加工技术的研究

更新时间：2025-09-01

- 大口径平面光学元件超精密加工技术的研究
- Study on the technology of the ultra precision machining for the large-aperture optical flats
- 光学技术 2004年第1期页码：27-29
- 作者机构：
  
  1:北京邮电大学自动化学院,北京,100876
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863计划资助项目(416 2 4.16)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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杨福兴. 大口径平面光学元件超精密加工技术的研究[J]. 光学技术, 2004,(1):27-29.

Study on the technology of the ultra precision machining for the large-aperture optical flats[J]. 2004, (1): 27-29.
杨福兴. 大口径平面光学元件超精密加工技术的研究[J]. 光学技术, 2004,(1):27-29. DOI：

Study on the technology of the ultra precision machining for the large-aperture optical flats[J]. 2004, (1): 27-29. DOI：

为了解决激光核聚变装置中大口径平面光学元件的批量制造难题

将先进制造技术和传统抛光技术相结合

提出了一种新的工艺方法

即使用ELID(在线电解)磨削代替传统的铣磨和初抛工序

以提高生产效率。利用数控抛光将工件抛光至最终的面形精度

以提高生产效率和减少边缘效应。将连续抛光作为最终加工工序

使加工工件的表面粗糙度和波纹度达到工程要求。实验证明这一新的工艺方法是可行的。

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