反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测

范镝; 张忠玉; 牛海燕; 丰玉琴; 张学军

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反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测

更新时间：2025-09-01

- 反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测
- Optical surfacing of spherical reaction-burned silicon carbide(RB-SiC) mirror
- 光学技术 2004年第1期页码：6-8
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
  3. 3:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
  4. 4:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家杰出青年基金资助项目(No.69925512)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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范镝, 张忠玉, 牛海燕, 等. 反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测[J]. 光学技术, 2004,(1):6-8.

Optical surfacing of spherical reaction-burned silicon carbide(RB-SiC) mirror[J]. 2004, (1): 6-8.
范镝, 张忠玉, 牛海燕, 等. 反应烧结碳化硅球面反射镜的光学加工与检测[J]. 光学技术, 2004,(1):6-8. DOI：

Optical surfacing of spherical reaction-burned silicon carbide(RB-SiC) mirror[J]. 2004, (1): 6-8. DOI：

摘要

介绍了250mm口径、4200mm曲率半径的反应烧结碳化硅球面反射镜光学加工和检测的工艺流程;并按照流程依次介绍了在研磨成型、细磨抛光和精抛光过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工和检测各个步骤中应注意的问题。展示了加工后250mm口径反应烧结碳化硅球面反射镜的实物照片

并给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.037波长(λ=632.8nm)

表面粗糙度RMS值达到1.92nm(测量区域大小为603.6ⅹ448.4μm)。

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Optical surfacing of spherical reaction-burned silicon carbide(RB-SiC) mirror

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