利用光学方法测量薄膜厚度的研究

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利用光学方法测量薄膜厚度的研究

更新时间：2025-09-01

- 利用光学方法测量薄膜厚度的研究
- Study of optical methods for measuring the thickness of the thin films
- 光学技术 2004年第1期页码：103-106
- 作者机构：
  
  1. 1:大连民族学院机电信息工程系
  2. 2:辽宁师范大学物理系
  3. 3:辽宁师范大学物理系,大连,116600
  4. 4,大连,116029
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  大连民族学院人才引进基金项目资助(项目编号20036205)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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宋敏, 李波欣, 郑亚茹. 利用光学方法测量薄膜厚度的研究[J]. 光学技术, 2004,(1):103-106.

Study of optical methods for measuring the thickness of the thin films[J]. 2004, (1): 103-106.
宋敏, 李波欣, 郑亚茹. 利用光学方法测量薄膜厚度的研究[J]. 光学技术, 2004,(1):103-106. DOI：

Study of optical methods for measuring the thickness of the thin films[J]. 2004, (1): 103-106. DOI：

介绍了测量固体薄膜厚度的光学方法。分析了这些方法的光学原理

对所使用的光源、测量范围、测量精度、实现的难度以及方法所适用的场合等多种因素进行了比较分析

结果表明:对于厚度在10～100μm范围的固体薄膜而言

激光干涉法是一种简单、易于实现且测量精度较高的方法。

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