共光路移相单频激光干涉测长系统

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共光路移相单频激光干涉测长系统

更新时间：2025-09-01

- 共光路移相单频激光干涉测长系统
- Common-path and phase-shifting single frequency laser interferometer for length measurement
- 光学技术 2004年第2期页码：195-198
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130022
  3. 3,吉林,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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韩旭东, 艾华. 共光路移相单频激光干涉测长系统[J]. 光学技术, 2004,(2):195-198.

Common-path and phase-shifting single frequency laser interferometer for length measurement[J]. 2004, (2): 195-198.
韩旭东, 艾华. 共光路移相单频激光干涉测长系统[J]. 光学技术, 2004,(2):195-198. DOI：

Common-path and phase-shifting single frequency laser interferometer for length measurement[J]. 2004, (2): 195-198. DOI：

单频激光干涉系统采用偏振光移相方法

用来解决常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题。共光路设计提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术提高了干涉系统的分辨力。在构造了一套实验布局的基础上

分析了影响系统测长精度的主要因素

并对干涉系统的测量误差分量做了定量的分析

完成了系统的精度测试。

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