反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

更新时间：2025-09-01

- 反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望
- Review and prospect on reflection mode micro-opto-electro-mechanical system
- 光学技术 2004年第2期页码：189-192
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器及机械学系
  2. 2:清华大学精密仪器及机械学系,北京,100084
  3. 3,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
移动端阅览
尤政, 任大海. 反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望[J]. 光学技术, 2004,(2):189-192.

Review and prospect on reflection mode micro-opto-electro-mechanical system[J]. 2004, (2): 189-192.
尤政, 任大海. 反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状与展望[J]. 光学技术, 2004,(2):189-192. DOI：

Review and prospect on reflection mode micro-opto-electro-mechanical system[J]. 2004, (2): 189-192. DOI：

反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分

近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新进展。根据反射式微光机电系统的分类

列举了一些具有代表性的反射式MOEMS器件。简要介绍了反射式MOEMS的加工工艺;阐述了反射式MOEMS的应用领域;展望了发展前景。

浏览量

488

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究

时频分析在激光多普勒信号处理中的应用

光纤微机电系统压力传感器的理论分析和数值模拟

利用光切方法测量微结构的三维微运动

MEMS动态测试系统及其数据处理