子孔径拼接干涉检测实验研究

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子孔径拼接干涉检测实验研究

更新时间：2025-09-01

- 子孔径拼接干涉检测实验研究
- Study on the experiments of the stitching interferometer
- 光学技术 2004年第2期页码：173-175
- 作者机构：
  
  1. 1:四川大学电子信息学院光电系
  2. 2:成都精密光学工程研究中心
  3. 3:四川大学电子信息学院光电系
  4. 4:成都精密光学工程研究中心,四川,成都,610064
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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张蓉竹, 石琪凯, 蔡邦维, 等. 子孔径拼接干涉检测实验研究[J]. 光学技术, 2004,(2):173-175.

Study on the experiments of the stitching interferometer[J]. 2004, (2): 173-175.
张蓉竹, 石琪凯, 蔡邦维, 等. 子孔径拼接干涉检测实验研究[J]. 光学技术, 2004,(2):173-175. DOI：

Study on the experiments of the stitching interferometer[J]. 2004, (2): 173-175. DOI：

为了满足国内ICF系统大口径光学元件的检测需要

提出了子孔径拼接干涉检测的方法。该方法是利用小口径干涉仪对大口径光学元件进行高精度波前检测。建立了拼接检测计算的模型。利用最小二乘法计算得到拼接参数

从而恢复大口径光学元件的全孔径波前相位分布。在理论分析的基础上设计了一套检测装置

对该装置的稳定性进行了实验研究。进行了两口径拼接检测的实验。拼接结果与全孔径检测结果进行了比较。结果表明

该检测方案能够满足大口径光学元件的检测要求。

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