MEMS动态测试系统及其数据处理

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MEMS动态测试系统及其数据处理

更新时间：2025-09-01

- MEMS动态测试系统及其数据处理
- MEMS dynamic testing system and data processing
- 光学技术 2004年第4期页码：398-402
- 作者机构：
  
  1. 1:华中科技大学微系统研究中心
  2. 2:华中科技大学微系统研究中心
  3. 3:华中科技大学微系统研究中心
  4. 4:华中科技大学微系统研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863计划资助项目(2002AA404100)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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周明才, 白金鹏, 谢勇君, 等. MEMS动态测试系统及其数据处理[J]. 光学技术, 2004,(4):398-402.

MEMS dynamic testing system and data processing[J]. 2004, (4): 398-402.
周明才, 白金鹏, 谢勇君, 等. MEMS动态测试系统及其数据处理[J]. 光学技术, 2004,(4):398-402. DOI：

MEMS dynamic testing system and data processing[J]. 2004, (4): 398-402. DOI：

介绍了基于频闪显微干涉技术的MEMS动态测试系统的测量原理

设计了数据分析处理算法。采用基于立方插值的亚像素模板匹配技术实现了1/50像素的面内位移测量精度。利用分割线去包裹算法实现了从干涉图到三维形貌图的重构。

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