用于彩色滤光片的低阻低应力ITO透明导电膜

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更新时间：2025-09-01

- 用于彩色滤光片的低阻低应力ITO透明导电膜
- Low resistance and low stress ITO films for color filter
- 光学技术 2004年第4期页码：455-456
- 作者机构：
  
  1:烟台师范学院物理系,山东,烟台,264025
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家863计划资助项目(2001AA313090)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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闫金良. 用于彩色滤光片的低阻低应力ITO透明导电膜[J]. 光学技术, 2004,(4):455-456.

Low resistance and low stress ITO films for color filter[J]. 2004, (4): 455-456.
闫金良. 用于彩色滤光片的低阻低应力ITO透明导电膜[J]. 光学技术, 2004,(4):455-456. DOI：

Low resistance and low stress ITO films for color filter[J]. 2004, (4): 455-456. DOI：

探讨了用于彩色滤光片的低电阻和低压应力的ITO透明导电膜工艺。用磁控溅射方法在不同温度的衬底上制备了ITO薄膜。研究了膜形衬底温度与膜结晶化程度的关系

以及膜形衬底温度对膜电阻和压应力的影响。对不同衬底温度下形成的ITO薄膜进行了退火处理

并对退火后的ITO薄膜的电阻和压应力特性进行了分析。结果表明

采用室温沉积非晶态ITO膜

在真空退火下可获得低电阻、低压应力的多晶相ITO膜。

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