大尺寸0.55mm ITO透明导电膜玻璃的翘曲度

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更新时间：2025-09-01

- 大尺寸0.55mm ITO透明导电膜玻璃的翘曲度
- Warp of large area 0.55mm ITO conductive coating glass
- 光学技术 2004年第4期页码：406-408
- 作者机构：
  
  1:烟台师范学院物理系,山东,烟台,264025
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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闫金良. 大尺寸0.55mm ITO透明导电膜玻璃的翘曲度[J]. 光学技术, 2004,(4):406-408.

Warp of large area 0.55mm ITO conductive coating glass[J]. 2004, (4): 406-408.
闫金良. 大尺寸0.55mm ITO透明导电膜玻璃的翘曲度[J]. 光学技术, 2004,(4):406-408. DOI：

Warp of large area 0.55mm ITO conductive coating glass[J]. 2004, (4): 406-408. DOI：

ITO透明导电膜玻璃的翘曲度是评价大尺寸薄基片ITO玻璃的重要指标之一。利用磁控射频溅射技术制备了ITO薄膜。研究了基片加热前、后的翘曲度和ITO膜层应力对ITO玻璃翘曲度的影响以及ITO成膜温度分布对ITO玻璃翘曲度的影响。结果表明

薄基片ITO玻璃的翘曲度主要是在镀膜时ITO膜层压应力大引起的

选择合适的成膜温度分布可明显减小ITO玻璃的翘曲度。

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