三维形貌检测中自动参考栅技术的改进

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三维形貌检测中自动参考栅技术的改进

更新时间：2025-09-01

- 三维形貌检测中自动参考栅技术的改进
- Improvement for the automatic reference method of 3-D surface measurement
- 光学技术 2004年第5期页码：587-589
- 作者机构：
  
  1. 1:天津大学力学系
  2. 2:天津大学力学系天津300072山东大学物理与微电子学院
  3. 3,济南,250061
  4. 4,天津,300072
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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周灿林, 亢一澜. 三维形貌检测中自动参考栅技术的改进[J]. 光学技术, 2004,(5):587-589.

Improvement for the automatic reference method of 3-D surface measurement[J]. 2004, (5): 587-589.
周灿林, 亢一澜. 三维形貌检测中自动参考栅技术的改进[J]. 光学技术, 2004,(5):587-589. DOI：

Improvement for the automatic reference method of 3-D surface measurement[J]. 2004, (5): 587-589. DOI：

通过对形貌检测中理论参考面相位分布规律的分析

对三维形貌轮廓术中参考面相位自动生成技术进行了研究。利用采集的待测物体栅线图样中未变形区域对应相位信息

通过最小二乘迭代法数据拟合

获得理想参考面相位分布参数

也就是获得理想参考面上的相位分布。由于不需另外采集实物参考面变形光栅图像

不仅减少了实物参考面的采集步骤

而且不需要对实物参考面相位进行求解

这样就可以真正实现只采集一幅图像解调形貌

从而提高测试速度

同时还可避免由于采用实物参考面而存在的误差

使得求解兼有理想参考面方法与实物参考面方法的优点。利用改进的方法对塑胶小熊猫面具进行了实际测量

给出了测试结果

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