单目显微视觉测头动态测量技术的研究

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单目显微视觉测头动态测量技术的研究

更新时间：2025-09-01

- 单目显微视觉测头动态测量技术的研究
- Study of dynamic measurement technology used monocular micro-vision probe
- 光学技术 2004年第6期页码：753-755
- 作者机构：
  
  1. 1:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系
  2. 2:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系
  3. 3:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系
  4. 4:哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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屈玉福, 浦昭邦, 刘国栋, 等. 单目显微视觉测头动态测量技术的研究[J]. 光学技术, 2004,(6):753-755.

Study of dynamic measurement technology used monocular micro-vision probe[J]. 2004, (6): 753-755.
屈玉福, 浦昭邦, 刘国栋, 等. 单目显微视觉测头动态测量技术的研究[J]. 光学技术, 2004,(6):753-755. DOI：

Study of dynamic measurement technology used monocular micro-vision probe[J]. 2004, (6): 753-755. DOI：

为了解决现有坐标测量机中的单目显微视觉测头视场小和景深小的缺点

提出了显微视觉测头的动态测量方法。建立了运动模糊图像的复原模型以及序列图像的全景组合模型

并提出了测量系统的自标定方法

标定重复性精度优于0.5nm。实验证明:该系统在以6mm/s的速度扫描测量时

测量重复性精度可达到5μm。

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