飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状

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飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状

更新时间：2025-09-01

- 飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状
- Status and principle of two-photon microfabrication using femtosecond laser
- 光学技术 2004年第5期页码：637-640
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院化学所分子反应动力学国家重点实验室
  2. 2:中国科技大学精密机械与仪器系
  3. 3:中国科技大学精密机械与仪器系
  4. 4:中国科技大学精密机械与仪器系
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助(9030613);"863"MEMS(2003AA404050);科学院"百人计划"项目资助
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
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龚莹, 蒋中伟, 周拥军, 等. 飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状[J]. 光学技术, 2004,(5):637-640.

Status and principle of two-photon microfabrication using femtosecond laser[J]. 2004, (5): 637-640.
龚莹, 蒋中伟, 周拥军, 等. 飞秒激光双光子微细加工技术及研究现状[J]. 光学技术, 2004,(5):637-640. DOI：

Status and principle of two-photon microfabrication using femtosecond laser[J]. 2004, (5): 637-640. DOI：

飞秒激光双光子微细加工技术以其特有的高精度三维微加工优势

成为微型机械加工领域新的发展方向之一。介绍了飞秒激光双光子微细加工技术的原理和应用的现状。结合目前已有的微细加工技术

对双光子微细加工技术的特点加以评述。简要报道了利用飞秒激光双光子微细加工技术的一些研究进展。探讨了飞秒激光双光子微细加工技术今后的发展方向及其存在的基本问题。

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