利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

更新时间：2025-09-01

- 利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究
- Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment
- 光学技术 2004年第5期页码：532-534
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  2. 2:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022
  3. 3,长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2004
- 稿件说明：
移动端阅览
杨晓飞, 韩昌元. 利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究[J]. 光学技术, 2004,(5):532-534.

Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment[J]. 2004, (5): 532-534.
杨晓飞, 韩昌元. 利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究[J]. 光学技术, 2004,(5):532-534. DOI：

Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment[J]. 2004, (5): 532-534. DOI：

通过非球面的零位补偿法

完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分析了在检测中会出现的现象

并结合计算机辅助装调技术

确定在检测过程中相对敏感的自由度

然后控制这些量

使补偿器和非球面的相对关系与理论设计相吻合

在Zygo相位干涉仪上测得最终结果。在λ=632.8nm时

中心圆口径与两个边缘圆口径面形误差RMS分别为0.022λ

0.037λ

0.032λ。检测结果

达到预期目的。

浏览量

479

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

矩形口径离轴非球面镜的加工与检测

计算机辅助装调方法在离轴卡塞格林系统中的应用

离轴非球面三坐标检测技术

三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理

Shack-Hartmann波前传感器非零位在轴检测离轴非球面反射镜