大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势

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大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势

更新时间：2025-09-01

- 大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势
- Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements
- 光学技术 2005年第2期页码：302-305
- 作者机构：
  
  1. 1:浙江大学机械工程系
  2. 2:浙江理工大学测控系
  3. 3:浙江大学机械工程系,浙江,杭州,310027
  4. 4,浙江,杭州,310033
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(50275138)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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韦丰, 陈本永, 丁启全. 大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势[J]. 光学技术, 2005,(2):302-305.

Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements[J]. 2005, (2): 302-305.
韦丰, 陈本永, 丁启全. 大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势[J]. 光学技术, 2005,(2):302-305. DOI：

Review on long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurements[J]. 2005, (2): 302-305. DOI：

介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法

在数十毫米的测量范围内

理论上可以达到1/440000的细分系数。

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