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1. 1:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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3. 3:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
4. 4:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033 空军第二航空学院长春
纸质出版:2005
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陶忠祥, 林明秀, 王英霞, 等. 光敏层电阻率非均匀分布对PSD定位影响的研究[J]. 光学技术, 2005,(1):84-86.
Influence of non-homogeneous resistivity in the photosensitive layer on position sensitive detectors[J]. 2005, (1): 84-86.
陶忠祥, 林明秀, 王英霞, 等. 光敏层电阻率非均匀分布对PSD定位影响的研究[J]. 光学技术, 2005,(1):84-86. DOI:
Influence of non-homogeneous resistivity in the photosensitive layer on position sensitive detectors[J]. 2005, (1): 84-86. DOI:
采用数值方法对光敏层电阻率的非均匀分布及对位置敏感探测器(PSD)的影响进行了研究
结果显示
在现有的制作工艺保障最大电阻率变化不超过1%时
电阻率的非均匀分布对四边形PSD的非线性影响很小
相比较之下
其对一维PSD的影响要大的多。因此
光敏层电阻率的非均匀分布是造成一维PSD非线性的一个主要原因
而对于四边形二维PSD则不是主要原因。
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