准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究

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准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究

更新时间：2025-09-01

- 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究
- Experimental study on characteristic of Ni in excimer-laser induced electrochemical etching
- 光学技术 2005年第3期页码：323-325
- 作者机构：
  
  1. 1:华中科技大学机械与工程学院
  2. 2:华中科技大学机械与工程学院
  3. 3:华中科技大学机械与工程学院
  4. 4:华中科技大学机械与工程学院,武汉,430074
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家技术研究发展计划(863计划)(202AA421190)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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周月豪, 柳海鹏, 熊良才, 等. 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究[J]. 光学技术, 2005,(3):323-325.

Experimental study on characteristic of Ni in excimer-laser induced electrochemical etching[J]. 2005, (3): 323-325.
周月豪, 柳海鹏, 熊良才, 等. 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究[J]. 光学技术, 2005,(3):323-325. DOI：

Experimental study on characteristic of Ni in excimer-laser induced electrochemical etching[J]. 2005, (3): 323-325. DOI：

提出一种新的准分子激光电化学加工工艺

在阳极钝化区内

通过准分子激光照射

以实现无屏蔽的各向异性的微加工。对该工艺进行了可行性分析

并对其进行了初步试验

证实在钝化区

准分子激光导致刻蚀电流增加的幅度比较明显

在此基础上

深入研究了在准分子脉冲激光作用过程中

刻蚀电流与脉冲数、脉冲频率之间的关系。表明准分子激光在钝化区具有增强电化学特性的能力。

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