光纤微机电系统压力传感器的理论分析和数值模拟

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更新时间：2025-09-01

- 光纤微机电系统压力传感器的理论分析和数值模拟
- Theoretical analysis and numerical simulation of the optical fiber MEMS pressure sensor
- 光学技术 2005年第4期页码：491-493
- 作者机构：
  
  1. 1:南京师范大学物理科学与技术学院
  2. 2:南京师范大学物理科学与技术学院
  3. 3:南京师范大学物理科学与技术学院
  4. 4:南京师范大学物理科学与技术学院,江苏,南京,210097
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  江苏省高新技术基金资助项目(BG2003024)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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李明, 王鸣, 王婷婷, 等. 光纤微机电系统压力传感器的理论分析和数值模拟[J]. 光学技术, 2005,(4):491-493.

Theoretical analysis and numerical simulation of the optical fiber MEMS pressure sensor[J]. 2005, (4): 491-493.
李明, 王鸣, 王婷婷, 等. 光纤微机电系统压力传感器的理论分析和数值模拟[J]. 光学技术, 2005,(4):491-493. DOI：

Theoretical analysis and numerical simulation of the optical fiber MEMS pressure sensor[J]. 2005, (4): 491-493. DOI：

设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器

证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里_珀罗腔的理论模型解释。推导出了在光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜的压力与干涉光强的关系表达式

并对光纤MEMS压力传感器的模型进行了数值模拟

初步确定了在传感器的制作过程中各个物理量的取值。其中腔体半径为300μm、腔体深度为1.42μm、硅横膈膜厚度为23μm

为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础。

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