膜料吸收系数对光学膜厚宽带监控的影响

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膜料吸收系数对光学膜厚宽带监控的影响

更新时间：2025-09-01

- 膜料吸收系数对光学膜厚宽带监控的影响
- Absorption coefficient of thin-film material affection optical coating wideband monitoring technology
- 光学技术 2005年第5期页码：672-674
- 作者机构：
  
  1. 1:西安电子科技大学技术物理学院
  2. 2:西安工业学院光电工程学院
  3. 3:西安工业学院光电工程学院
  4. 4:西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  “十五”预研第一批兵器支撑基金项目(YJ0267051);陕西省教育厅产业化项目(03JC28)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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韩军, 孔英秀, 尚小燕, 等. 膜料吸收系数对光学膜厚宽带监控的影响[J]. 光学技术, 2005,(5):672-674.

Absorption coefficient of thin-film material affection optical coating wideband monitoring technology[J]. 2005, (5): 672-674.
韩军, 孔英秀, 尚小燕, 等. 膜料吸收系数对光学膜厚宽带监控的影响[J]. 光学技术, 2005,(5):672-674. DOI：

Absorption coefficient of thin-film material affection optical coating wideband monitoring technology[J]. 2005, (5): 672-674. DOI：

光学镀膜宽带监控的判停依靠测量曲线和理论曲线的吻合程度来进行

这要求对理论曲线进行符合薄膜镀制实际的修正。在介绍光学镀膜宽带监控技术的原理及现状的基础上

针对由于材料的吸收而产生的测量曲线和理论曲线的严重背离

提出了一种逐层修正的方法。试验结果表明

其效果良好

完全可以满足实际镀膜的需要。

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