一种获得半导体薄膜光学参数的方法

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一种获得半导体薄膜光学参数的方法

更新时间：2025-09-01

- 一种获得半导体薄膜光学参数的方法
- The research of a method to obtain the optical parameters of semiconductor films
- 光学技术 2005年第6期
- 作者机构：
  
  1. 1:浙江大学材料科学与工程系硅材料国家重点实验室
  2. 2:浙江大学材料科学与工程系硅材料国家重点实验室
  3. 3:浙江大学材料科学与工程系硅材料国家重点实验室
  4. 4:浙江大学材料科学与工程系硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2001AA320202)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2005
- 稿件说明：
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刘涌, 宋晨路, 汪建勋, 等. 一种获得半导体薄膜光学参数的方法[J]. 光学技术, 2005,(6).

The research of a method to obtain the optical parameters of semiconductor films[J]. 2005, (6).
刘涌, 宋晨路, 汪建勋, 等. 一种获得半导体薄膜光学参数的方法[J]. 光学技术, 2005,(6). DOI：

The research of a method to obtain the optical parameters of semiconductor films[J]. 2005, (6). DOI：

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