台阶高度测量方法研究现状及进展

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台阶高度测量方法研究现状及进展

更新时间：2025-09-01

- 台阶高度测量方法研究现状及进展
- Development of step height measurement
- 光学技术 2006年第1期页码：111-114
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
  4. 4,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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蒋天罡, 李岩, 张书练. 台阶高度测量方法研究现状及进展[J]. 光学技术, 2006,(1):111-114.

Development of step height measurement[J]. 2006, (1): 111-114.
蒋天罡, 李岩, 张书练. 台阶高度测量方法研究现状及进展[J]. 光学技术, 2006,(1):111-114. DOI：

Development of step height measurement[J]. 2006, (1): 111-114. DOI：

台阶高度测量是目前新提出的国际计量比对项目之一

当前的趋势是向纳米量级精度发展并尽量扩大测量范围。在分析现状和背景的基础上

大致归类了测量台阶高度的几种光学方法

着重介绍了其中绝对干涉方案的最新进展

从测量原理、测量精度以及量程等几方面比较了它们的优缺点。在此基础上提出以可调谐半导体激光器作为光源

采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量

详细分析了方案的原理误差

得到最后的结论。

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