白光扫描干涉测量算法综述

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白光扫描干涉测量算法综述

更新时间：2025-09-01

- 白光扫描干涉测量算法综述
- The summary of algorithms for white-light scanning interferometry
- 光学技术 2006年第1期页码：115-117
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  4. 4,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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杨天博, 郭宏, 李达成. 白光扫描干涉测量算法综述[J]. 光学技术, 2006,(1):115-117.

The summary of algorithms for white-light scanning interferometry[J]. 2006, (1): 115-117.
杨天博, 郭宏, 李达成. 白光扫描干涉测量算法综述[J]. 光学技术, 2006,(1):115-117. DOI：

The summary of algorithms for white-light scanning interferometry[J]. 2006, (1): 115-117. DOI：

白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构、光源的光谱宽度以及扫描步长一定的情况下

选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度。对重心法、移相法、包络曲线拟合法以及空间频域算法分别加以介绍和比较

为白光干涉信号的算法选取提供了一份详尽的参考。

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