一种基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统

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更新时间：2025-09-01

- 一种基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统
- An absolute distance measurement system based on optical multiplication
- 光学技术 2006年第1期页码：39-41
- 作者机构：
  
  1. 1:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  2. 2:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
  3. 3:清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  4. 4,北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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杨天博, 郭宏, 李达成. 一种基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统[J]. 光学技术, 2006,(1):39-41.

An absolute distance measurement system based on optical multiplication[J]. 2006, (1): 39-41.
杨天博, 郭宏, 李达成. 一种基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统[J]. 光学技术, 2006,(1):39-41. DOI：

An absolute distance measurement system based on optical multiplication[J]. 2006, (1): 39-41. DOI：

介绍了一个基于光学倍乘原理的绝对距离干涉测量系统。系统包括两个干涉仪:采用半导体激光器作为光源的定位干涉仪和测量位移的外差干涉仪。介绍了光源的选择

系统的设计以及信号的采集和处理方案。采用这套绝对测量系统

可以实现长度为2m以内的绝对距离测量

定位精度可以达到±0.5μm。

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