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1. 1:四川大学电子信息学院
2. 2:四川大学电子信息学院
3. 3:成都精密光学工程研究中心
4. 4:成都精密光学工程研究中心
纸质出版:2006
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韩敬华, 冯国英, 杨李茗, 等. 抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度的影响[J]. 光学技术, 2006,(4):562-564.
The influences of the polishing liquid's pH values upon the roughness of the polishing component surface[J]. 2006, (4): 562-564.
韩敬华, 冯国英, 杨李茗, 等. 抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度的影响[J]. 光学技术, 2006,(4):562-564. DOI:
The influences of the polishing liquid's pH values upon the roughness of the polishing component surface[J]. 2006, (4): 562-564. DOI:
减小大孔径超光滑玻璃表面的粗糙度是提高抛光质量的关键。实验研究了抛光过程中pH值对抛光元件表面粗糙度的影响。结果表明:抛光液的pH值对抛光元件表面粗糙度有较明显的影响;抛光过程中抛光液的pH值会随抛光时间而变化;抛光过程中
当保持抛光液处于微碱状态
且离抛光粉的等电离点较远时
抛光元件表面具有较小的粗糙度。
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