垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统

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垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统

更新时间：2025-09-01

- 垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统
- A vertical scanning white-light interfering profilometer
- 光学技术 2006年第4期页码：545-547
- 作者机构：
  
  1. 1:华中科技大学机械科学与工程学院
  2. 2:华中科技大学机械科学与工程学院
  3. 3:华中科技大学机械科学与工程学院,武汉,430074
  4. 4:武汉理工大学机电工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(50175037)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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戴蓉, 谢铁邦, 常素萍. 垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统[J]. 光学技术, 2006,(4):545-547.

A vertical scanning white-light interfering profilometer[J]. 2006, (4): 545-547.
戴蓉, 谢铁邦, 常素萍. 垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统[J]. 光学技术, 2006,(4):545-547. DOI：

A vertical scanning white-light interfering profilometer[J]. 2006, (4): 545-547. DOI：

依据白光干涉理论

研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力

可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量。

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