大口径光学平面的子孔径拼接检验研究

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大口径光学平面的子孔径拼接检验研究

更新时间：2025-09-01

- 大口径光学平面的子孔径拼接检验研究
- Study on the sub-aperture stitching interferometry for large plano-optics
- 光学技术 2006年第4期页码：514-517
- 作者机构：
  
  1. 1:中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
  2. 2:中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,南京,210042
  3. 3,南京,210042
  4. 4:中国科学院研究生院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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李新南, 张明意. 大口径光学平面的子孔径拼接检验研究[J]. 光学技术, 2006,(4):514-517.

Study on the sub-aperture stitching interferometry for large plano-optics[J]. 2006, (4): 514-517.
李新南, 张明意. 大口径光学平面的子孔径拼接检验研究[J]. 光学技术, 2006,(4):514-517. DOI：

Study on the sub-aperture stitching interferometry for large plano-optics[J]. 2006, (4): 514-517. DOI：

研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进行分析

获得了子孔径之间的拼接参量

得到了被检验镜面的整体面形信息。编制了拼接检验的计算程序

并完成了原理性实验。采用一台口径为100mm的移相干涉仪检测了两个样品

给出了拼接检测与全口径检测的对比结果。样品的口径分别为100mm和91mm。对比检测结果表明

拼接检测与直接检测两种方法的RMS之差小于5nm。

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