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1. 1:山东大学物理与微电子学院
2. 2:中山大学生命科学院,济南,250061
3. 3,广州,510275
纸质出版:2006
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周灿林, 李方. 小波相位解调轮廓术[J]. 光学技术, 2006,(4):630-633.
Profilometry of phase demodulation using wavelet transform[J]. 2006, (4): 630-633.
周灿林, 李方. 小波相位解调轮廓术[J]. 光学技术, 2006,(4):630-633. DOI:
Profilometry of phase demodulation using wavelet transform[J]. 2006, (4): 630-633. DOI:
针对傅里叶变换轮廓术因混频难以准确提取基频的问题
可将小波变换用于三维形貌相位直接解调。对其原理进行了研究
通过编程实现了小波相位解调。取Morlet复小波作为小波母函数
对调制栅线图逐行进行连续小波变换
从各位置的沿尺度方向的小波变换系数幅值的极值中可直接求取对应的相位数据。由于小波函数具有空域_频率两域的局部化特性
因此它对变形栅具有很强的自适应能力。为验证新方法
对其进行了仿真分析
同时还对石膏半球模型和化妆品瓶进行了实际测量
并分别用傅里叶变换和小波变换进行了处理。结果表明
新方法有效地克服了混频的问题
改善了相位解调效果
提高了测量精度
特别适合于复杂物体的形貌测量。
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