干涉仪系统传递函数测量及影响因素的分析

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干涉仪系统传递函数测量及影响因素的分析

更新时间：2025-09-01

- 干涉仪系统传递函数测量及影响因素的分析
- Measurement of the system transfer function of the interferometer and the analyses of the influence on the measuring
- 光学技术 2006年第5期页码：741-743
- 作者机构：
  
  1. 1:成都精密光学工程研究中心
  2. 2:成都精密光学工程研究中心
  3. 3:成都精密光学工程研究中心
  4. 4:成都精密光学工程研究中心
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2006
- 稿件说明：
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邓燕, 柴立群, 许乔, 等. 干涉仪系统传递函数测量及影响因素的分析[J]. 光学技术, 2006,(5):741-743.

Measurement of the system transfer function of the interferometer and the analyses of the influence on the measuring[J]. 2006, (5): 741-743.
邓燕, 柴立群, 许乔, 等. 干涉仪系统传递函数测量及影响因素的分析[J]. 光学技术, 2006,(5):741-743. DOI：

Measurement of the system transfer function of the interferometer and the analyses of the influence on the measuring[J]. 2006, (5): 741-743. DOI：

波前功率谱密度(PSD)被用于评价惯性约束聚变(ICF)激光驱动器光学元件中频段的波前误差。干涉仪对PSD较高空间频率分量的测量存在失真效应

可通过干涉仪系统传递函数(STF)的检测标定来获得真实的波前PSD分布。采用台阶板位相比较法测得大口径菲索相移干涉仪检测系统在透射和反射检测情形下的传递函数。对传递函数测试算法进行了比较分析

明确了干涉仪系统zoom倍率的改变等因素对传递函数测量的影响

为波前PSD的准确检测奠定了基础。

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