基于人工神经网络的SPM自动标定

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基于人工神经网络的SPM自动标定

更新时间：2025-09-01

- 基于人工神经网络的SPM自动标定
- Automatic calibration of SPM scan image by artificial neural network
- 光学技术 2007年第1期页码：31-33
- 作者机构：
  
  1. 1:上海大学机电工程与自动化学院
  2. 2:上海大学机电工程与自动化学院
  3. 3:上海大学机电工程与自动化学院
  4. 4:上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  上海市科委纳米科技专项基金资助(0452nm074)
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版：2007
- 稿件说明：
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周兵, 孙鑫, 黄敏锐, 等. 基于人工神经网络的SPM自动标定[J]. 光学技术, 2007,(1):31-33.

Automatic calibration of SPM scan image by artificial neural network[J]. 2007, (1): 31-33.
周兵, 孙鑫, 黄敏锐, 等. 基于人工神经网络的SPM自动标定[J]. 光学技术, 2007,(1):31-33. DOI：

Automatic calibration of SPM scan image by artificial neural network[J]. 2007, (1): 31-33. DOI：

针对扫描探针显微镜中扫描图像显示的大小与实际大小存在较大误差

提出了基于图像处理和人工神经网络标定的方法。经过图像处理提取标准光栅图像的特征矩阵

用人工神经网络训练特征矩阵和真实矩阵

用于预测扫描图像实际施加在x

y轴的电压值。应用于某原子力显微镜的标定软件中

使扫描图像的x_y表面失真度从7.2%降至2.44%。

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